圆度偏差（µm+µm/mm 测量高度）**

0,03 + 0,0006

轴向跳动偏差（µm+µm/mm 测量半径）*

0.02 + 0.0001

轴向跳动偏差（µm+µm/mm 测量半径）**

0,04 + 0,0006

调心调平工作台

手动

工作台直径 (mm)

160

工作台负载，居中 (N)

200

速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz

0.2-15

测量路径，机动 (mm)，Z 轴

250

直线度偏差/100 mm 测量路径 (µm)**，Z 轴

0.15

直线度偏差/总测量路径 (µm)**，Z 轴

0.3

跟踪方向的平行度偏差 Z-/C-轴 (µm)

测量速度 (mm/s)，Z 轴

0.5-30

定位速度 (mm/s)，Z 轴

0.5-100

定位路径 (mm)，X 轴

150, 机动

定位速度 (mm/s)，X 轴

0.5-30