1、引言

　　VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

　　2、主要技术指标

　　电机功率：350W

　　电源：AC220V 50Hz

　　速度范围：500rpm-10000rpm

　　程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段

　　增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s

　　时间范围：0-60s

　　吸盘：Ø19mm、Ø60mm

　　本机可选配加热功能：加温范围RT-150℃；加热盖，水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟；温度单独控制，与主机程序控制无关联；

　　尺寸：450mm×280mm×340mm

　　重量：20kg