三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨不易磨损。

各运动轴均采用直流伺服驱动，确保运动的平稳和准确。

主要特征：

• 三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨不易磨损。

• 三轴均采用高精度增量式金属光栅尺。

• Y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性。

• 采用RENISHAW的控制系统，保证了机器的动态性能和测量精度。

• 各运动轴均采用直流伺服驱动，确保运动的平稳和准确。

• X向采用精密三角梁技术，相比矩形梁和横梁，重心更低，质量刚性比更佳，运动更加可靠。

• 软件为Serein Dmis，经济易学实用。